臭氧氣體檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
臭氧氣體檢測儀主要由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。
臭氧氣體檢測儀基本電路由電源部分、紫外燈控制、紫外光線樣品檢測、紫外光線采樣檢測，對數放大器Log100、模擬輸出及顯示六大部分組成。
電路核心部分就是用對數放大器Log100來實現臭氧濃度數學模型。LOG100是 14引腳可以對兩個電流或電壓之比進行對數運算的集成電路，該放大器輸出電流動態范圍寬，可以在1nA到 1mA之間變化。輸出誤差范圍不超過0.1%。
電源部分主要是產生紫外燈需要的高壓電源，同時產生電路板上需要的+15V直流電。紫外燈燈控部分主要是控制紫外燈燈電流在恒定允許范圍之內，過高、過低可以自動調節，如果調不了說明紫外燈壽命到了，面板上有一個紅燈變亮，提示你應該更換新的紫外燈了。標準紫外光檢測和采樣紫外光檢測部分也是較關鍵部分，.光電傳感器把紫外線的光信號轉換為電壓信號，然后經兩次運算放大器進行信號整理放大，送給LOG100進行計算處理后，顯示輸出。模擬輸出0~20mA與臭氧濃度大小是成線性關系的。
